Содержание: 2017 | 2016 | 2015 | 2014 |2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2006 | 2005 | 2004 | 2003 | 2002 | 2001

2005, 33

В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов, Р. В. Барсуков, С. Н. Цыганок, А. Н. Сливин

Применение ультразвукового распыления в процессе производства полупроводниковых приборов

язык: русский

получена 20.10.2005, опубликована 07.11.2005

Скачать статью (PDF, 350 кб, ZIP), используйте команду браузера "Сохранить объект как..."
Для чтения и распечатки статьи используйте «Adobe Acrobat© Reader» версии 4.0 или выше. Эта программа является бесплатной, ее можно получить на веб-сайте компании Adobe© (http://www.adobe.com/).

АННОТАЦИЯ

В статье исследуются причины, снижающие эффективность одного из основных процессов при производстве полупроводников — химико-механического полирования (СМР). На основе проведенного анализа и практических экспериментов предлагается возможный путь решения проблемы, основанный на использовании ультразвукового распыления полирующей жидкости. Приводятся технические решения, позволившие разработать ультразвуковой аппарат с возможностью встраивания в существующее оборудование для СМР процесса.

9 страниц, 8 иллюстраций

Как сослаться на статью: В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов, Р. В. Барсуков, С. Н. Цыганок, А. Н. Сливин. Применение ультразвукового распыления в процессе производства полупроводниковых приборов. Электронный журнал "Техническая акустика", http://ejta.org, 2005, 33.

ЛИТЕРАТУРА

1. Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann. Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials.
2. Мощные ультразвуковые поля. Под ред. Л. Д. Розенберга. М., Наука, 1968.
3. Теумин И. И. Ультразвуковые колебательные системы. М.: Машгиз, 1959, 331 с.
4. Патент РФ № 2141386. Ультразвуковая колебательная система.
5. Физические основы ультразвуковой технологии. Под ред. Л. Д. Розенберга М., Наука, 1970.
6. Harvey L. Berger. Ultrasonic Liquid Atomization. Theory and Application. P.H. Publishers, 2002, p. 169.


 

Хмелев Владимир Николаевич — декан факультета информационных технологий автоматизации и управления, профессор, к.т.н. В 1992 году защитил диссертацию по УЗ контролю. Область научных интересов - применение ультразвуковых колебаний для интенсификации технологических процессов.

e-mail: vnh(at)bti.secna.ru

 
 

Шалунов Андрей Викторович — инженер лаборатории «Акустические процессы и аппараты» Бийского технологического института. Преподаватель каф. "Методы и средства измерения и автоматизации". В 2003 году окончил Бийский технологический институт. Область научных интересов - интенсификация технологических процессов, построение технологических линий и установок для реализации ультразвуковых технологий.

 
 

Барсуков Роман Владиславович — ведущий инженер лаборатории «Акустические процессы и аппараты» Бийского технологического института. В 1998 году окончил Бийский технологический институт по специальности «Информационно-измерительная техника». Тематика научных исследований - источники ультразвуковой энергии для интенсификации технологических процессов.

 
 

Цыганок Сергей Николаевич — заведующий лабораторией «Акустические процессы и аппараты» Бийского технологического института. В 1998 году окончил Бийский технологический институт по специальности «Информационно-измерительная техника». Область научных интересов - разработка и проектирование пьезоэлектрических ультразвуковых колебательных систем.

 
 

Сливин Алексей Николаевич — инженер лаборатории «Акустические процессы и аппараты» Бийского технологического института. Ст. преподаватель каф. "Методы и средства измерения и автоматизации". В 1999 году окончил Бийский технологический институт по специальности «Информационно-измерительная техника». Область научных интересов - применение ультразвуковых колебаний для процессов сварки термопластических полимерных материалов.